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探针台怎么选合适的配置,怎么确定精度?
发布时间:2023-11-08 15:41:22      点击次数:1243

通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:

1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件? 

2、探针台机械精度要求多高? 

3、点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的mini pad,还是ic内部的metal? 

4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜(体式显微镜最大倍率200倍)

5、最多需要几根探针同时去点测? 

6、会测试到的最大的电流、电压值是多少(电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具)

7、漏电精度需要达到多高?是否有射频的需求?三轴管状夹具:100FA,同轴弹簧夹具:10PA(漏电精度:最小能测到的电流的量级)

8、是否会用到探针卡? 

9、光学显微镜的最小分辨率需要用到多少? 

10、显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测? 

11、接驳的测试仪器接口有哪些? 

12、测试环境时是否会需要加热或者降温? 

13、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck? 

14、是否需要防震桌? 

15、若添置防震桌,是否有压缩空气?

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